JZLG-150型干式真空機組
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機組型號 |
泵型號 |
抽氣速率 (L/s) |
極限壓力(Pa)絕壓 |
總功率 (kW) | ||
| 主泵 | 前級泵 | |||||
| 0.5Pa | ||||||
| JZLG70 | ZJ70 |
LG40 |
70 |
6.2 | ||
| JZLG150 | ZJ150 |
LG40 |
150 |
7 | ||
| JZLG150 | ZJ150 | LG70 | 150 | 8.5 | ||
| JZLG300 | ZJ300 | LG70 | 300 | 13 | ||
